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            非蒸散型吸氣真空泵的使用

            點擊次數:   更新時間:19/01/15 20:31:01     來源:關閉分    享:
            非蒸散型吸氣真空泵的使用 發布時間:[2019/1/7] 閱讀次數:[ 45 ]   非蒸散型吸氣真空泵多用鋯鋁合金吸氣材料(84%鋯、16%鋁)在高溫下吸附活性氣體的特性而制成的真空泵。該真空泵結構簡單,體積小,造價低,操作安全可靠,維修方便,清潔無油。對活性氣體尤其是對氫具有很高的抽氣能力。但不能抽惰性氣體。此外還有一種鋯釩鐵合金材料(70%鋯,24.6%釩,5.4%鐵)作為吸氣劑的活化溫度450℃,室下對活性氣體具有較大的抽速。   鋯鋁真空泵對氫及其同位素氘、氚的吸氣是可逆的,而對其他活性氣體的吸氣是以穩定的化學物擴散到吸氣劑體內,但存在飽和壽命問題。在10-8~1Pa壓力范圍內抽青速率幾乎保持恒定。對氣體活性氣體CO、CO2、O2、N2、H2O等的吸氣抽率,在壓力低于10-3Pa時,在400℃溫度下達到飽和。該真空泵對活性氣體的吸氣速率隨著吸氣劑吸氣量的增加而降低。當吸氣速率隨著吸氣量的增加而達到名義抽速的80%時,要在高溫下再激活處理。在激活的次數一般可達20次。   這種真空泵可用在受控裝置中儲存和釋放H2及其同位素氘、氚;在高等加速器的真空系統中與分子真空泵或濺射離子真空泵同時工作,能提高真空系統的極限真空;還可以用于轉運H2及其同位素;用在超高真空裝置時,連同裝置一起放進烘烤裝置中,不用外加電源便可作烘烤時的維持真空泵使用;也可用于濺射離子真空泵的啟用。

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